PECVD系统由开启式单（双）温区管式炉、高真空分子泵系统、射频电源、压强控制仪及多通道高精度数字质量流量控制系统组成。
主要功能和特点：
1、高真空系统由双级旋片真空泵和分子泵组成，最高真空可达0.0001Pa；
2、可配合压强控制仪控制气体压力实现负压的精准控制；
3、 通过射频电源实现辉光放电等方法，产生等离子体；
4、数字质量流量控制系统是由多路质量流量计，流量显示仪等组成，实现气体的流量的精密测量和控制；每条气体管路均配备高压逆止阀，保证系统的安全性和连续均匀性。
5、采用KF快速法兰密封，装卸方便快捷；管路采用世界顶级Swagelok卡套连接，不漏气；
6、超温、过压时，自动切断加热电源及流量计进气，使用安全可靠。
