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我们有专业的热工技术团队，可根据用户需求定制研发各种高温加热设备；

主要用途：可用于搭建CVD系统，也可为样品退火提供所需的气氛环境。

 

一、概述

      1．气体从钢瓶出来，经过减压阀减压，通过四氟管到供气系统的入口，再经过质子流量计控制气体流量，然后经过混气罐，再进入炉子进气口，气体从出气管出来，经过三通阀门，一端连接真空泵，一端连接出气口。

      2．混气罐上接有压力表，压力表显数盘与质子流量计安装在同一面板上。

      3．每一条气体管路均有一个高压截止阀，安全有保证。

      4．该气路采用高精度气体浮子流量计，气路内部全采用四氟管，耐腐蚀性好。

      5．所有接头采用卡套连接，气密性好，耐压高。

 

二、技术参数：

　　气路通道：4

　　气路流量控制：质子流量控制器。

　　接口：Φ6

　　显示：LED

　　工作环境温度:5~45℃

　　流量控制器：质子流量控制器（详细技术参数请查看后面）

　　四氟管：Φ6外XΦ4内

　　压力真空表：－0.1～0.15MPa,0.01MPa/格

　　截止阀：Φ6

 

三、供气系统内部压力不能过大，不然容易造成漏气，只要气体能正常流出来即可。

 

四、供气系统的配置：

      1、质子流量计：4个

      2、压力表：1个

      3、截止阀门：5个

      4、穿板接头：5个

      5、阀门接头：2个

      6、钢瓶接头:4个

      7、聚四氟乙烯管：20M

      8、混气罐：1个

      9、炉架：1台

　　质量流量计技术参数：质子流量控制器普通型，模拟电路，橡胶密封，管状分流，不易堵塞。

　　主要指标:

　　量程：5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM（你可以任意选择量程）

　　准确度：±1.5%F.S

　　线性：±0.5～1.5%F.S

　　重复精度：±0.2%F.S

　　响应时间：10S

　　气压降：<0.01MPa

　　最大压力：3MP

　　工作环境温度：5～45℃

　　输入输出信号：0～+5.00V

　　电源：+15V50mA-15V50mA

　　外形尺寸：158*30*110