一、概述
1．气体从钢瓶出来，经过减压阀减压，通过四氟管到供气系统的入口，再经过质子流量计控制气体流量，然后经过混气罐，再进入炉子进气口，气体从出气管出来，经过三通阀门，一端连接真空泵，一端连接出气口。
2．混气罐上接有压力表，压力表显数盘与质子流量计安装在同一面板上。
3．每一条气体管路均有一个高压截止阀，安全有保证。
4．该气路采用高精度气体浮子流量计，气路内部全采用四氟管，耐腐蚀性好。
5．所有接头采用卡套连接，气密性好，耐压高。
二、技术参数：
气路通道：4
气路流量控制：质子流量控制器。
接口：Φ6
显示：LED
工作环境温度:5~45℃
流量控制器：质子流量控制器（详细技术参数请查看后面）
四氟管：Φ6外XΦ4内
压力真空表：－0.1～0.15MPa,0.01MPa/格
截止阀：Φ6
三、供气系统内部压力不能过大，不然容易造成漏气，只要气体能正常流出来即可。
四、供气系统的配置：
1、质子流量计：4个
2、压力表：1个
3、截止阀门：5个
4、穿板接头：5个
5、阀门接头：2个
6、钢瓶接头:4个
7、聚四氟乙烯管：20M
8、混气罐：1个
9、炉架：1台
质量流量计技术参数：质子流量控制器普通型，模拟电路，橡胶密封，管状分流，不易堵塞。
主要指标:
量程：5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM（你可以任意选择量程）
准确度：±1.5%F.S
线性：±0.5～1.5%F.S
重复精度：±0.2%F.S
响应时间：10S
气压降：<0.01MPa
最大压力：3MP
工作环境温度：5～45℃
输入输出信号：0～+5.00V
电源：+15V50mA-15V50mA
外形尺寸：158*30*110
