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真空镀膜时,为什么要用到高纯气体?

2021/11/26 12:40:47      点击:
在真空离子镀膜中,所选用不同气体所生产出来的,液态气体色泽也会不一样,氩气一般用作创造镀膜的环境镀钛和铬时,工业气体充入氮气可生产出银色和黄色的产品而想要生产出黑色或灰色的产品,则需要加入乙炔气体加入氧气则生产蓝色的产品。除了气体外所生产出的产品颜色还受压力、温度、时间等条件影响。


 真空电镀是利用的什麽原理? 


在高真空度的条件下,高纯度的镀层金属(如铝)在高温下蒸发后会自由地飞散开并沉降在工件表面,形成镀层。氩气为保护性气体,防止氧化反应影响镀层质量。


 氩气在电镀过程中有何用? 


氩气不参与反应,只是增加气压,改善镀膜时靶的放电条件,氩气不是用于镀膜,主要用于创造镀膜的环境。氮气和氩气都是惰性气体,冲进去以后,一可以排除氧气,防止氧化,二根据氮气和氩气在扩散泵内的含量比例不同,可以镀膜出不同的颜色。


真空镀膜行业中,氩气的流量大小具体如何控制? 


镀膜时为了调节压力使用的气体如下:氩气如果只是调节压力,一次压可以不计,但是二次压要小于0.5个大气压。氮气也是,主要是因为如果大了,会导致真空仓内的压力变化太剧烈,导致误差。如果是使用离子源,那么氩气入气量不宜过大,大了导致离子量过大,烧坏部件。压力和上边没什么差别。


任何固体材料在大气环境下都会溶解和吸附一些气体,当材料置于真空状态时就会因为脱附、解析而出气。出气的速率与材料中的气体含量成正比。不同的材料解析的气体成分及解析的温度及时间是不同的。各种泵对不同成分的气体抽气速率也是不一样的。气体的存在往往对薄膜的纯度和颜色有较大的影响,对膜层附着力影响也很大。因此真空镀膜机镀膜时,膜层的好坏,气体起着关键性的作用,是镀膜环节不可或缺的一步。




 PVD镀膜涂层常用置配 
彩色系膜层和常规色膜层最大的区别就是C值和H值,所以可以说,黑色也是彩色系膜层。
锆+氮气:黄绿调金黄色锆+甲烷:深浅黑色锆+氧气:白色、透明膜锆+氮气+甲烷:金色、仿玫瑰金
铬+甲烷:深浅黑色铬+氮气:浅黑色铬+氮气+甲烷:银灰色铬+氧气:轻黄色、紫色、绿色
SUS+氧气:紫色SUS+氮气:蓝色SUS+甲烷:亮黑色SUS+甲烷+氮气:蓝黑色
硅+氮气:黑色硅+氧气:混浊白、透明膜硅+甲烷:黄色、绿色、蓝色、黑色(靶材纯度高于99%仅能调黑色)
钛+氧气:光学膜七彩截色,不多介绍都懂。钛+甲烷:深浅黑色( DLC制备不能达标)钛+氮气:仿金色、黄铜色、紫色、红色钛+氮气+甲烷:仿玫瑰金、黑绿色、复古黄、棕色、紫色
钨+氮气:棕黄色
钨+甲烷:深浅黑色钨+氧气:紫色,鲜黄色,棕色,蓝色


以上仅装饰薄膜常用材料及其常用气体,通常甲烷和乙炔都可互替,但涉及部分颜色甲烷效果更好。除以上常用材料外,金属靶材还有镍、铝、钽、铪、锰、铜、锌、铟、锡、等,均有在镀膜中使用。多质靶材如钛铝、铬铝、钛锆、铜锰、镍铬、硅铝、钒铼、钨钼等等。
离子镀膜涂层特性 

类型 性           能  优      点
TiN
氮化钛
颜色:金色,硬度:2300HV±200,摩擦系数:0.25VSNi,工作温度:600℃ 增加表面硬度、减少摩擦力,可低温涂层,适合低温零件,避免刀口之积屑现象,广泛应用于钢料成型加工
TiCN
氮碳化钛
颜色:黑灰色/玫瑰金色/蓝灰色,硬度:3300HV±500,摩擦系数:0.16VSNi,工作温度:450℃ 高表面硬度表面光滑,避免刀口之积屑现象,适合重切削,适合冲压加工不锈钢 
ALTiN
高铝钛
颜色:紫黑色/蓝黑色,硬度:3500HV±300,摩擦系数:0.35VSNi,工作温度:800℃ 高热稳定性,适合高速、干式切削,硬质合金刀具、车刀片,适合不锈钢钻、铣、冲加工
CrN
氮化铬
颜色:银白色,硬度:2100HV±200,摩擦系數:0.20VSNi,工作溫度:650℃ 可低温涂层,韧性好,适合低温零件,适合冲压厚度>1.5mm的钢板
CrCN
碳氮化铬
颜色:灰黑色/银灰色,硬度:2500HV±300,摩擦系数:0.18VSNi,工作温度:800℃ 高热稳定性,磨擦力低,不沾黏,适合冷热锻造、铸造高热稳定性,适合长久在高温环境下使用的汽车零件
TiALN
氮化铝钛
颜色:紫黑色/黑色,硬度:3200HV±200,摩擦系數:0.35VSNi,抗氧化溫度:850℃ 高热稳定性,通用于高速钢与硬质合金刀具,高速、干式、连续性切削,可加工高硬度模具钢 50HRC
ALCrN
氮化铬铝
颜色:黑色/银灰色,硬度:3200 HV±200,摩擦系數:0.20VSNi,工作溫度:850℃ 高热稳定性,磨擦力低,不沾黏,适合冷热锻造、压铸模具要求的高热稳定性
DLC
类金刚石涂层
颜色:黑色,硬度>2000HV,摩擦系數:0.10VSNi,工作溫度:450℃ 解決射出成型脱膜、腐蚀问题,适合汽车、机械零件降低磨擦损耗,适合无油轴承,干式金属润滑膜

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