PDP烧成炉分类和结构
PDP烧成炉的选择与PDP的材料特性和工艺路线密切相关。烧成炉最早使用的是金属马弗的网带炉,但它的金属马弗的氧化鳞片以及马弗与网带的磨损产生的金属粉末对PDP的烧结质量产生不良影响。因此,近年来研制用滚柱上面放置微晶玻璃衬板来代替网带的烧成炉,这种烧成炉被称为滚柱式烧成炉。最初的滚柱采用不锈钢材料,后来发展成在不锈钢滚上镶嵌瓷管.
目前几乎所有烧成炉均采用陶瓷滚柱。这种烧成炉的显著优点是炉内没有氧化起皮的材料,也不存在由于金属磨损产生的金属粉末的问题,提高了炉内的洁净度。用于PDP的滚柱式烧成炉可分为单级滚柱炉、双级滚柱炉和间歇滚柱炉。在使用时,要根据基板材料的性质和处理量,选择不同的烧成炉,对使用PD-200、PP-8和CS-25等高转移点玻璃,一般选择单级滚柱炉。双级滚柱炉用于1万张/月以上的批量生产。间歇滚柱炉一般用于基板为Na-Ca玻璃的烧结,也可用于多品种基板玻璃的烧结。2PDP烧成炉的特点单级和双级滚柱烧成炉都属于连续炉,根据对基板玻璃的处理量,选择23~34m不等的炉体长
双级滚柱炉是在一个炉内将滚轮设为2级用上、下二级滚轮运输2张基板,加热器则设置成上、中、下3级,可分别独立进行温度控制,在炉壁内侧全部使用耐氧化的耐热钢(如253MA,铬镍铁合金等)作为防尘马弗材料,这与单级滚柱炉内侧全部使用N―O微晶玻璃作为防尘马弗材料不同。使用耐热钢作为马弗材料一方面是考虑到它有足够的强度和抗氧化性能,焊接性能良好,易实现密封焊接,确保炉内洁净度;另一方面,薄而轻巧的耐热钢马弗也易实现清扫作业,而N―O衬板虽然自身不产生尘埃,但易碎,又不能实现气密对接,在清扫时费时又费力。图3滚柱式烧成炉的温度分布曲线若基板玻璃选择Na―Ca玻璃,由于Na―Ca玻璃的转移点温度低于烧结温度,所以在基板连续冷却时,必然会使基板前后产生温度差,造成前进方向的前端温度低,后端温度高,使基板产生扇形变形。为了解决Na―Ca玻璃应变点低而导致的收缩和变形的问题,开发出了PD-200玻璃。它应变点温度大幅提高,达570℃,退火点达620℃,而在PDP制作过程中,大多数材料使用550℃左右的烧结温度,因此,使用时,PD-200玻璃不易产生扇形变形。单级和双级滚柱式烧成炉用于烧结PD-200等高转移点基板玻璃。
为了能够使用价格低廉的Na―Ca玻璃作为PDP基板玻璃,开发出了间歇式烧成炉,间歇式烧成炉是在基板冷却至380℃的降温段采用间歇式输运,在该间歇降温段,用闸门将各间歇室分隔,使各室有不同的温度,其目的是在降温时基板前后的温度相同,避免了扇形变形。间歇式烧成炉在升温、保温和温度低于380℃的冷却段是连续式的,由最高温度降至380℃附近的降温段采用的是间歇式降温,相邻两间歇室的温度差一般25℃左右。连续炉的实际温度曲线测试比较方便:使用热电偶粘在待测基板上,待测基板在炉内通过时就可方便地测出炉内基板的实际温度。但是对间歇炉,由于在间歇降温段,各间歇室之间有闸门分隔,因此测试基板的实际温度变得困难,这是间歇炉需要解决的课题。另外,由于间歇炉有许多闸门,炉体内外不密封,因此需要将整体设备放入净化室,这就增加了空调的负荷,而一般的连续炉没有闸门,因此只要将炉体的进出口放在净化室即可。
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