1200℃PECVD回转炉
更新：2019/8/1 9:38:22
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- 产品品牌： 特瑟电炉
- 产品型号： TST1200R-60-PECVD
PECVD系统由开启式单（双）温区管式炉、高真空分子泵系统、射频电源、压强控制仪及多通道高精度数字质量流量控制系统组成。
主要功能和特点：
1、高真空系统由双级旋片真空泵和分子泵组成，最高真空可达0.0001Pa；
2、可配合压强控制仪控制气体压力实现负压的精准控制；
3、 通过射频电源实现辉光放电等方法，产生等离子体；
4、数字质量流量控制系统是由多路质量流量计，流量显示仪等组成，实现气体的流量的精密测量和控制；每条气体管路均配备高压逆止阀，保证系统的安全性和连续均匀性。
5、采用KF快速法兰密封，装卸方便快捷；管路采用世界顶级Swagelok卡套连接，不漏气；
6、超温、过压时，自动切断加热电源及流量计进气，使用安全可靠。
PECVD是借助于辉光放电等方法产生等离子体，辉光放电等离子体中：电子密度高109-1012cm3电子气体温度比普通气体分子温度高出10-100倍，使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应，从而实现薄膜材料生长的一种新的制备技术。通过反应气态放电，有效地利用了非平衡等离子体的反应特征，从根本上改变了反应体系的能量供给方式低温热等离子体化学气相沉积法具有气相法的所有优点，工艺流程简单。
主要技术参数：
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产品型号 |
TST-1200R-60 -PECVD |
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炉体结构 |
双层壳体结构，配有风冷系统 |
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炉膛材质 |
日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛，保温性能好 |
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炉管材质 |
高纯石英管；可选外径Φ40/50/60/80/100*1200/1500mm |
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密封法兰 |
不锈钢快速挤压密封法兰 |
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温控系统 |
温度控制系统采用人工智能调节技术，具有PID调节、自整定功能，并可编制30段升降 温程序；控温精度±1℃ |
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显示模式 |
仪表面板显示 |
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加热元件 |
优质电阻丝0Cr27Al7Mo2 |
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测温元件 |
K型热电偶（可选购增加内置热电偶，实时监测加热物料温度） |
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使用温度 |
最高温度1200℃，连续工作温度≤1150℃ |
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升温速度 |
推荐≤10℃/min，最快升温速度30℃/min |
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降温速度 |
700℃以上≤10℃/min |
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恒温区 |
加热区长度440mm，恒温区200mm |
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真空范围 |
0.1-0.001Pa |
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极限真空 |
4.0*10^-4Pa |
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产品配置 |
双级旋片真空泵+分子泵 |
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测量方式 |
复合真空计 |
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真空规管 |
电阻规+电离规 |
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射频电源 |
电源：单相50/60Hz 220v±10% |
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射频电源 |
加热（功率）电源：2.5KW，25A |
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射频电源 |
控制柜电源空气开关：32A空气开关 |
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射频电源 |
薄膜生长室温度：室温~ 1200℃ |
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射频电源 |
射频频率：13.56MHz |
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射频电源 |
射频功率输出范围：5~500W |
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质量流量计 |
控制方式：质量流量计,流量显示仪（七星华创、美国Omega、日本Horiba） |
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质量流量计 |
流量规格0－500SCCM /0－1SLM,（可根据客户需要配置） |
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质量流量计 |
线性±1%F.S |
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质量流量计 |
准确度±1%F.S |
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质量流量计 |
重复精度±0.2%F.S. |
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质量流量计 |
响应时间≤2sec |
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质量流量计 |
耐压3MPa |
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质量流量计 |
气路通道双通道（根据客户需求） |
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机器电源 |
AC220V，50/60Hz；额定功率4kw |
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执行标准 |
GB/T 10066.1-2004、GB/T 10067.4-2005 |
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标准配置 |
主机1台，密封法兰1套，“O”型圈4个，石英管1根，管堵4个，坩埚钩1把， 说明书、合格证、保修卡各1份 |
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可选混气 |
多通道浮子、质量混气系统 |
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选购件 |
炉架，各种石英、刚玉坩埚，石英管，高温手套，计算机控制软件，无纸记录仪等。 |
上海特瑟电炉设备技术有限公司生产的实验电炉符合国家标准并通过欧盟CE安全认证，出厂前经过严格检测；秉持“全方位、高品质、快速度”的服务标准，以客户满意为目标，谨此公开承诺。
一、产品质量承诺：
1、产品的制造和检测严格按相关标准执行，并有质量记录可查；每台设备都有唯一的制造编号，并建立用户档案。
2、所有产品均可通过权威的第三方检测机构检测；也可委托我方代为办理（检测机构：上海市计量局和华东国家计量测试中心），费用另计。
二、交货期承诺：
按合同约定执行；如客户有特殊原因需提前交货的，我公司可特别组织生产，力争满足用户需求。
三、售后服务承诺：
1、免费送货上门服务；
2、免费安装调试服务：当您收到设备后，请注意检查外包装是否完好并通知我们，我们会安排专业人员上门免费安装、调试及培训，并指导操作人员如何保养和注意事项等，直至满意为止。
3、高效率 服务：当设备不能正常使用时，请及时联系我们，我们会在10分钟内响应；2小时内提供应急解决方案；72小时内安排专业人员上门服务；
4、定期回访服务：提供定期电话回访或上门回访服务；
5、软件免费更新：我们免费提供软件的升级更新服务，使设备始终处于国内领先；
6、设 备保 固期：我司郑重承诺，自交货之日起，我公司设备整机保固期为24个月.
7、保固期限内：如遇设备质量上问题，我公司郑重承诺，负责免费维修及更换零部件，（因甲方使用不当或其他人为因素造成的故障除外）。质保期内，如设备或零部件因非人为因素出现故障而造成短期停用时，则质保期和免费维修期相应顺延。如停用时间累计超过60天则质保期重新计算。
9、操作培训：针对客户的具体操作人员，我公司免费上门给予操作培训、简单故障排除、技术深入研制等培训，保证设备使用者能够掌握使用技术。
10、保固期外，整机终身保修，如需更换零部件，紧收零部件的成本价。
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